微細加工技術雜志是統計源期刊， 被知網收錄(中)、維普收錄(中)、萬方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏、等數據庫收錄。

微細加工技術是一本電子類統計源期刊， 雜志創刊于1983年， 主辦單位：中國電子科技集團公司第48研究所； 主管單位：信息產業部； 主要發文方向： 綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術、等。

雜志往年發文量統計表