SNIP（Source Normalized Impact per Paper）即“來源標準化每篇論文的影響”，是一種衡量期刊影響力的指標。它通過將期刊的引用次數標準化，消除了不同學科領域和期刊規模等因素對引用次數的影響，從而更準確地反映期刊在其主題領域內的相對影響力。
Cite Score（2024年最新版）
暫無Cite Score數據
此數值表明該期刊在其學科領域內的影響力高于平均水平，這一數值反映了該期刊在工程技術-工程：電子與電氣領域的高質量和學術影響力。
其余數據統計：
（1）該雜志的影響因子為1.5；
（2）在中科院分區表中，大類學科中工程技術為：4區，小類學科中工程技術-工程：電子與電氣：4區，
中科院分區信息
真空科學與技術學報B2023年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
真空科學與技術學報B2021年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
真空科學與技術學報B2021年12月基礎版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
真空科學與技術學報B2021年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
真空科學與技術學報B2020年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
名詞解釋：
中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
（3）JCR分區信息：按JIF指標學科分區：Q3，按JCI指標學科分區：Q4
JCR分區信息
Journal Of Vacuum Science & Technology B（2023-2024年最新版數據）
| 按JIF指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6%
|
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2%
|
| 學科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q3 | 134 / 179 |
25.4%
|
| 按JCI指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q4 | 278 / 354 |
21.61%
|
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.21%
|
| 學科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q4 | 145 / 179 |
19.27%
|
名詞解釋：
湯森路透每年出版一本《期刊引用報告》（Journal Citation Reports，簡稱JCR）。JCR對86000多種SCI期刊的影響因子（Impact Factor）等指數加以統計。JCR將收錄期刊分為176個不同學科類別在JCR的Journal Ranking中，主要參考當年IF，最終每個分區的期刊數量是均分的。
